Elaboration et caractérisation des couches minces transparents et conductrices

Abstract

Dans ce travail les couches de ZnO ont été déposées par la technique de spray pyrolyse sur des substrats en verre chauffés à de température fixe 350 °C, notre intérêt porte sur l’étude de l’influence du dopage en étain (Sn) sur les propriétés optiques et structurales de ces couches. L’analyse structurale par diffraction des rayons X a montré que les films déposés ont une orientation préférentielle selon la direction (002). A partir des spectres des rayons x nous avons déduit la taille des grains de ces couches. Le spectrophotomètre UV- Visible confirme qu’il est possible d’obtenir de bons films transparents de ZnO avec une transmittance de 55 à 85% dans le visible. Les valeurs des gaps optiques Eg déduites à partir des spectres de transmissions UV-Visible varient entre 3.22 et 3.38 eV