Caractérisation optique des couches minces SiCN
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Date
2007
Authors
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Publisher
Université Larbi-Tébessi.Tebessa
Abstract
Les couches minces sont préparées avec la technique de pulvérisation cathodique magnétron et pour caractériser ces couches SiCN on a utilisée la spectroscopie Infra Rouge (IR) et la spectroscopie Ultra Violet (UV).
Les spectroscopies IR et UV- visible donnent :
Les types des liaisons dans ces couches, le changement du gap optique suivant le taux de l’azote.
Description
Keywords
IR, UV- visible , Gap optique